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氧化锆磨球在钼铌合金溅射靶材中的应用

作者:admin日期:2020-11-04阅读
(1)将钼粉和铌粉(纯度均为≥99 .95%,粒径分别为20μm和35μm)按照重量比为6:1的比例装入球磨机中,然后加入棕榈酸和氧化锆磨球(粒径2mm),在氩气保护下进行球磨,所述的球磨时间为80min,球磨转速为1000r/min,过筛,分离得到粒径为9μm钼铌合金复合粉末;
所述棕榈酸和氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0 .02倍、8倍;
(2)将步骤(1)钼铌合金复合粉末进行冷等静压成型,冷等静压的压力为200MPa,保压时间为5min,得到压制毛坯;
(3)将压制毛坯在真空烧结炉中进行烧结成型,烧结温度为1800℃,烧结时间10 h,得到靶材毛坯;
(4)将靶材毛坯经过机械加工得到产品钼铌合金溅射靶材,钼铌合金溅射靶材为单一物相组织,组织均匀无孔洞,平均晶粒尺寸50μm,密度9 .85g/cm3。[0023] 实施例2一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺,包括以下步骤:
(1)将钼粉和铌粉(纯度均为≥99 .95%,粒径分别为15μm和30μm)按照重量比为7:1的比例装入球磨机中,然后加入硬脂酸锌和氧化锆磨球(粒径3mm),在氩气保护下进行球磨,所述的球磨时间为60min,球磨转速为1200r/min,过筛,分离得到粒径为10μm钼铌合金复合粉末;所述硬脂酸锌和氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0 .01倍、5倍;
(2)将步骤(1)钼铌合金复合粉末进行冷等静压成型,冷等静压的压力为150MPa,保压时间为10min,得到压制毛坯;
(3)将压制毛坯在真空烧结炉中进行烧结成型,烧结温度为2000℃,烧结时间5 h,得到靶材毛坯;
(4)将靶材毛坯经过机械加工得到产品钼铌合金溅射靶材,钼铌合金溅射靶材为单一物相组织,组织均匀无孔洞(参见图1),平均晶粒尺寸55μm,密度9 .86g/cm3。[0024] 实施例3
(1)将钼粉和铌粉(纯度均为≥99 .95%,粒径分别为25μm和40μm)按照重量比为8:1的比例装入球磨机中,然后加入硬脂酸和氧化锆磨球(粒径1mm),在氩气保护下进行球磨,所述的球磨时间为100min,球磨转速为1000r/min,过筛,分离得到粒径为6μm钼铌合金复合粉末;所述硬脂酸、氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0 .03倍、10倍;
(2)将步骤(1)钼铌合金复合粉末抽真空处理,接着进行冷等静压成型,冷等静压的压力为180MPa,保压时间为7min,得到压制毛坯;
(3)将压制毛坯在真空烧结炉中进行烧结成型,烧结温度为2000℃,烧结时间8h,得到靶材毛坯;
(4)将靶材毛坯经过机械加工得到产品钼铌合金溅射靶材,钼铌合金溅射靶材为单一物相组织,组织均匀无孔洞(参见图2),平均晶粒尺寸45μm,密度9 .87g/cm3。一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺,包括以下步骤:

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